日本tasahi半導體和LCD制造設備用橡膠參數介紹

- 對溶劑、酸和堿具有出色的耐受性。

? 比 perflo-elastomer 便宜。

-適用于半導體和液晶制造設備的濕部件。

氟橡膠的交聯(lián)方式主要有兩種：多元醇交聯(lián)（氟橡膠的主流）和過氧化物交聯(lián)，但各有優(yōu)缺點如下表所示。

由 Asahi Tazaki 開發(fā)的耐蒸汽性 T77SA01 具有基于多元醇的壓縮變形和耐高溫蒸汽性。