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日本uv-asumi研發(fā)用掃描型準分子輻照裝置 它是一種將主波長為 172 nm 的準分子照射單元、掃描臺和臭氧分解裝置集成在一起的設備，只需 100 V 電源即可進行簡單安全的準分子表面改性實驗。