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F20膜厚測量系統(tǒng)工作原理分析

發(fā)布時間:2023-11-24 點擊量:616

F20膜厚測量系統(tǒng)工作原理分析

這是一種行業(yè)標準、低成本、多功能桌面涂層厚度測量系統(tǒng),已安裝在全球 5,000 多個裝置中。它可用于廣泛的應(yīng)用,從研究和開發(fā)到制造現(xiàn)場的在線測量。
F20基于光學(xué)干涉法,可以在約1秒內(nèi)輕松測量透明或半透明薄膜的厚度、折射率和消光系數(shù)。
它還支持多點在線測量,并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信,因此也可以從PLC或主機進行控制。

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當入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部份的光被反射,由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生振蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,愈多的震蕩代表較大的厚度。而其他的材料特性如折射率與粗糙度也也能同時測量。

主要特點

  • 兼容多種薄膜厚度(1nm 至 250μm)

  • 兼容寬波長范圍(190nm至1700nm)

  • 強大的膜厚分析

  • 光學(xué)常數(shù)分析(折射率/消光系數(shù))

  • 緊湊型外殼

  • 支持在線測量

主要用途

平板單元間隙、聚酰亞胺、ITO、AR膜、
各種光學(xué)膜等
半導(dǎo)體抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等
光學(xué)鍍膜防反射膜、硬涂層等
薄膜太陽能電池CdTe、CIGS、非晶硅等

砷化鋁鎵(AlGaAs)、磷化鎵(GaP)等
醫(yī)療保健鈍化、藥物涂層等















基本應(yīng)用:

基本上所有光滑的、半透明或低吸收系數(shù)薄膜都可以測量。這包括幾乎所有的電介質(zhì)與半導(dǎo)體材料,例如:

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