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日本第一熱研生產(chǎn)的 TB-IIVN-NW25 + C-58-3 是一款集成了高性能傳感器與智能控制單元的模塊化氧氣分析系統(tǒng)。該系統(tǒng)核心設(shè)計(jì)理念在于為真空、低壓及密閉環(huán)境提供直接、穩(wěn)定且可靠的氧氣濃度(或分壓)測(cè)量。它并非一個(gè)即插即用的便攜設(shè)備,而是一套需要集成到更大工藝系統(tǒng)中的專(zhuān)業(yè)儀表,廣泛應(yīng)用于科研、半導(dǎo)體制造、冶金熱處理及新材料開(kāi)發(fā)等領(lǐng)域。
該系統(tǒng)的性能源于其兩個(gè)高度專(zhuān)業(yè)化的核心組件的協(xié)同工作。
1. 檢測(cè)前端:TB-IIVN-NW25 氧化鋯氧氣傳感器
技術(shù)原理:
該傳感器采用成熟的氧化鋯陶瓷電化學(xué)技術(shù)。氧化鋯電解質(zhì)在高溫下(由內(nèi)置加熱器維持)成為氧離子的導(dǎo)體。當(dāng)傳感器兩側(cè)的氧氣濃度不同時(shí),會(huì)產(chǎn)生一個(gè)與濃度差相關(guān)的電動(dòng)勢(shì),通過(guò)測(cè)量這個(gè)電勢(shì)即可精確計(jì)算出氧氣分壓。
性能特點(diǎn):
極寬的測(cè)量范圍:這是其核心優(yōu)勢(shì)之一。它能實(shí)現(xiàn)從百分比級(jí)(%VOL)到高真空度(如10^-30 Pa乃至更寬范圍) 的無(wú)縫測(cè)量,覆蓋了從常壓到高真空的絕大多數(shù)工藝場(chǎng)景。
快速的響應(yīng)速度:得益于直接測(cè)量原理,其對(duì)氧氣濃度的變化響應(yīng)極為迅速,能滿足實(shí)時(shí)工藝控制的需求。
高精度與穩(wěn)定性:氧化鋯傳感器以其長(zhǎng)期穩(wěn)定性和抗污染能力著稱(chēng),減少了校準(zhǔn)和維護(hù)頻率。
直接安裝能力:型號(hào)中的“NW25"指明了其安裝法蘭標(biāo)準(zhǔn)。這意味著傳感器可以直接安裝在真空腔室或工藝管道上,實(shí)現(xiàn)原位測(cè)量,避免了傳統(tǒng)取樣方式可能帶來(lái)的滯后、堵塞或氣體成分改變等問(wèn)題。
2. 大腦與界面:C-58-3 控制/顯示單元
核心功能:
精確溫控:為T(mén)B-IIVN-NW25傳感器提供穩(wěn)定且精確的加熱控制,這是氧化鋯傳感器正常工作的先決條件。
信號(hào)處理與計(jì)算:接收傳感器的原始信號(hào),進(jìn)行放大、線性化處理和溫度補(bǔ)償,并將其轉(zhuǎn)換為直觀的氧氣濃度值。
數(shù)據(jù)顯示:采用96mm x 96mm的DIN標(biāo)準(zhǔn)面板尺寸,配備大屏幕液晶顯示器,便于現(xiàn)場(chǎng)操作人員實(shí)時(shí)讀取數(shù)據(jù)。
系統(tǒng)集成與通訊能力:
模擬輸出:提供標(biāo)準(zhǔn)的4-20mA模擬信號(hào)輸出,可輕松連接至PLC、DCS或記錄儀。
數(shù)字通訊:集成RS-485接口并支持MODBUS通訊協(xié)議,這使得它能無(wú)縫接入現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化網(wǎng)絡(luò),實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控、數(shù)據(jù)采集和系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)。
報(bào)警功能:內(nèi)置多個(gè)可編程的繼電器報(bào)警節(jié)點(diǎn),用戶可設(shè)定高、低濃度報(bào)警閾值,一旦濃度超限即刻觸發(fā)聲光報(bào)警或連鎖保護(hù)動(dòng)作,保障工藝安全。
原位測(cè)量的準(zhǔn)確性:直接安裝在工藝腔體上,避免了取樣管路帶來(lái)的測(cè)量延遲和誤差,數(shù)據(jù)真實(shí)可靠。
無(wú)比的量程寬度:一套系統(tǒng)即可應(yīng)對(duì)從常壓到高真空的廣泛需求,減少了因量程切換而需配置多臺(tái)設(shè)備的成本和復(fù)雜性。
工業(yè)兼容性:C-58-3控制單元支持的MODBUS協(xié)議和標(biāo)準(zhǔn)模擬信號(hào),使其能輕松融入絕大多數(shù)工業(yè)控制系統(tǒng)。
高可靠性與低維護(hù):氧化鋯技術(shù)本身堅(jiān)固耐用,在潔凈的惰性氣體或真空環(huán)境中壽命長(zhǎng),維護(hù)需求低。
專(zhuān)業(yè)的設(shè)計(jì):專(zhuān)為真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的NW25法蘭接口,確保了安裝的便捷性和系統(tǒng)的密封性。
真空熱處理爐:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)爐內(nèi)殘余氧氣含量,確保產(chǎn)品無(wú)氧化、無(wú)脫碳。
燒結(jié)與釬焊爐:嚴(yán)格控制工藝氣氛,保證產(chǎn)品質(zhì)量一致性。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:在CVD、PVD等設(shè)備中監(jiān)測(cè)腔體環(huán)境,防止氧化對(duì)晶圓造成污染。
科研實(shí)驗(yàn)裝置:為材料科學(xué)、化學(xué)合成等需要精確控制氣體環(huán)境的實(shí)驗(yàn)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。
惰性氣體保護(hù)系統(tǒng):監(jiān)測(cè)手套箱、氣氛管道中的微量氧氣,確保惰性環(huán)境的純度。
系統(tǒng)配套:TB-IIVN-NW25傳感器與C-58-3控制單元為獨(dú)立銷(xiāo)售,用戶在采購(gòu)時(shí)必須將兩者作為一套系統(tǒng)進(jìn)行配置。
安裝與集成:用戶需確保其真空系統(tǒng)或管道上預(yù)留有兼容的NW25法蘭接口,并具備相應(yīng)的電源和信號(hào)接線條件。
總結(jié),日本第一熱研的 TB-IIVN-NW25 + C-58-3 氧氣分析系統(tǒng)是一款面向高精度工業(yè)應(yīng)用和科學(xué)研究的專(zhuān)業(yè)級(jí)產(chǎn)品。它憑借其基于氧化鋯技術(shù)的寬量程傳感器和高度集成的智能控制單元,為需要在真空及密閉環(huán)境中進(jìn)行精確氧氣監(jiān)控的用戶,提供了一個(gè)可靠、高效且易于集成的解決方案。